一、主要配置
1)真空镀膜机腔体尺寸:2050X2000;
2)主泵:两台DZB550低温泵
二、工艺效果
空载:8min腔体真空度达进入10-4Pa;
负载:10min真空度达3×10-3Pa。
三、再生周期:一周
一、主要配置
1)真空镀膜机腔体尺寸:2050X2000;
2)主泵:两台DZB550低温泵
二、工艺效果
空载:8min腔体真空度达进入10-4Pa;
负载:10min真空度达3×10-3Pa。
三、再生周期:一周